반도체·디스플레이

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AUTOCLAVE


LCD/OLED 후공정 중 필름이 부착된 판넬에 온도와 압력을 통해 기포를 제거하여 제품의 품질을 높이는 장비로, 반도체 공정에서는 보이드(void) 제거와 DAF 경화에도 활용

  • 설비사양
Description General specification
Temp. Range 80℃ ~ 250℃
Temp. Uniformity ±3%℃
Pressure Range 0 ~ 10bar
Panel Size 3” ~ 115" (소형에서 대형까지 가능)

VACUUM CHAMBER


저온물성의 빠른 건조, 반도체 및 전자부품 에폭시 등 절연물의 원료 탈포·증착, 그리고 PCB Line 등 다용도의 진공건조 분위기를 제공하는 장비

  • 설비사양
Description General specification
Material Interior Stainless Steel plate
Exterior Steel Plate With Powder Coating
Temp Controller Digital P.I.D auto-tuning program controller
Range Ambient ~ 350℃
Sensor C.A (K) sheath type
Vacuum Range 760 ~ 10-6 Torr
Gauge Vacuum gauge (Digital type)

HP/CP SYSTEM


LCD/OLED 전공정 중 코팅 후 열처리 장비로, 핫 플레이트 및 쿨 플레이트 시스템을 적용하여 흄 제어(Fume Control)와 악취(Odor) 확산 방지가 가능하며, 배관의 간결화로 유지보수성이 뛰어남

  • 설비사양
Description General specification
Temp. Range HP Ambient ~ 240℃
CP 20℃ ~ -5℃
Temp. Uniformity HP ±1%℃
CP ±5%℃
Heating Unit Mica Heater & Line Heater
Loading/Unloading Robot 반송 System
Panel Size ~ 8G Glass

TCU(TEMPERATURE CONTROL UNIT)


LCD/OLED의 메인 공정인 노광기 투입 전에 불규칙한 판넬의 온도를 일정하게 제어하여 제품의 품질을 높이는 장비

  • 설비사양
Description General specification
Temp. Range 20℃ ~ 25℃
Temp. Stability ±0.05℃
Temp. Uniformity ±0.1℃
Cleanliness 10 Class
Panel Size 5G ~ 11G

OVEN


LCD/OLED 전공정 설비로, PID 제어에 따른 열풍 순환방식을 통해 온도 균일성이 확보되며, 고온 및 고성능 헤파 필터(HEPA Filter)를 적용하여 판넬 오염 방지는 물론 흄 제어(Fume Control)까지 가능한 장비

  • 설비사양
Description General specification
Temp. Range Ambient ~ 350℃
Temp. Uniformity ±3%℃
Loading/Unloading Robot 반송 System
Panel Size ~ 8G Glass

FURNACE


LCD/OLED 전공정에 걸쳐 TFT/CF 각 공정 처리 후 IR Panel을 가열·건조하는 장비로, IR Heater를 사용하여 수명이 반영구적이고, 청정 상태로 공정이 가능하며, 효율이 우수함

  • 설비사양
Description General specification
Temp. Range 80℃ ~ 250℃
Temp. Uniformity ±3%℃
Loading/Unloading Conveyor System
Panel Size ~ 8G Glass
  • 제품문의
연락처 Tel : 031-267-5060, 5064
Fax : 031-377-7852, 7854
E-mail :  sales@susunggn.com
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