FURNACE > 제품소개 > 반도체·디스플레이 > FURNACE LCD/OLED 전공정에 걸쳐 TFT/CF 각 공정 처리 후 IR Panel을 가열·건조하는 장비로, IR Heater를 사용하여 수명이 반영구적이고, 청정 상태로 공정이 가능하며, 효율이 우수함 반도체·디스플레이 온라인상담 설비사양 Description General specification Temp. Range 80℃ ~ 250℃ Temp. Uniformity ±3%℃ Loading/Unloading Conveyor System Panel Size ~ 8G Glass